等離子是由電子、離子、自由基和中性離子流組成，工作狀態(tài)呈流星雨?duì)顚?dǎo)電性流體，屬固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外第四種物質(zhì)形態(tài)。等離子發(fā)生器整體保持電中性， 。按離子的溫度，等離子分為熱平衡等離子體、非平衡等離子體和低溫等離子體。
當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光解一體機(jī)凈化設(shè)備內(nèi)時(shí)，先經(jīng)過等離子體化學(xué)反應(yīng)過程，即電子 先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。
部分廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為 無味氣體。采用 C波段光線強(qiáng)裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化， 可地殺滅，將物質(zhì)破壞且改變成為低分子物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，催化氧化作用。在分解過程中產(chǎn)生 高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對(duì)物具有的氧化作用，對(duì)惡臭氣體及其它刺激性異味有的 效果。O3也為強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化， 裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)， 達(dá)到脫臭及殺 的目的。
低溫等離子凈化工作原理：
采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí)，等離子體中的 離子起決定性的作用。廢氣和惡臭氣體經(jīng)過等離子體電場區(qū)，在納秒級(jí)時(shí)間范圍內(nèi)流星雨?duì)畹?nbsp; 離子與介質(zhì)內(nèi)分子(原理）發(fā)生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產(chǎn)生裂變分解反應(yīng)，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)，離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活性狀態(tài)，污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生、、 量的各種活性自由基、 電子、 離子等，同時(shí)產(chǎn)生大量臭氧、原子氧、生態(tài)氧等混合氣體，進(jìn)行一系列復(fù)雜的分化裂解和氧化還原反應(yīng)。（初級(jí)電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當(dāng)能量超過氧分子的電離電位時(shí)氧分子離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結(jié)合變成負(fù)極性養(yǎng)離子（O2-)，結(jié)果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有的氧化性，可在很短的時(shí)間內(nèi)將污染空氣中的成分分解為的產(chǎn)物和水）從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術(shù)相結(jié)合的原理對(duì)氣體進(jìn)行，其中低溫等離子體主要用來去除硫化氫、氨、苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及 ，吸附材料主要用于去除二氧化碳及臭氧等副產(chǎn)物。凈化裝置由初濾單元低溫等離子體發(fā)生器及過濾單元，風(fēng)機(jī)等設(shè)備和部件組成。
