法主要包括：燃燒法、脈沖電暈法、低溫等離子技術(shù)、光催化氧化法、臭氧催化氧化法、微波催化氧化法和生物處理法等。
1.燃燒法
光氧催化設(shè)備燃燒法是利用廢氣可以燃燒的性質(zhì)，通過充分燃燒而將揮發(fā)性物轉(zhuǎn)化為水和二氧化碳，主要包括直接燃燒法、熱力燃燒法和催化燃燒法。
直接燃燒法是將廢氣當(dāng)作燃料進(jìn)行直接燃燒，所需溫度較高(一般在1100℃左右)，適用于廢氣的處理。直接火焰燃燒的應(yīng)用范圍比較廣，投資成本低，設(shè)備簡單，處理效果比較 ，在時間和適當(dāng)溫度條件下，處理效率能達(dá)到以上，但高溫燃燒容易產(chǎn)生二次污染。
熱力燃燒法是利用熱力交換器對廢氣進(jìn)行升溫加熱，使其在700℃~800℃以上的高溫條件下進(jìn)行燃燒，廢氣處理效率可高達(dá)~。相比直接燃燒法，熱力燃燒法降低了部分能源消耗。
催化燃燒法是利用催化劑在較低溫度下(200℃~500℃)加熱廢氣，使其發(fā)生氧化分解反應(yīng)，從而實現(xiàn)凈化。常用的催化劑包括非貴金屬類和貴金屬類的催化劑、過渡金屬氧化物和復(fù)氧化物催化劑。催化燃燒法具有 性好、能耗少、無二次污染、凈化等優(yōu)點，但該法在應(yīng)用過程中容易出現(xiàn)催化劑中毒現(xiàn)象，因此，對于使用條件和操作工藝要很高，此外，貴金屬類催化劑成本較高，經(jīng)濟(jì)效益較差。
2.脈沖電暈法
脈沖電暈法通過前沿陡峭、脈沖窄的高壓脈沖電暈放電，在常溫、常壓下產(chǎn)生大量 電子或O、OH、N等活性粒子以及臭氧，與物分子發(fā)生化學(xué)氧化反應(yīng)，破壞其C-C、C-O及C-H等化學(xué)鍵， 終使污染物降解為CO2和H2O等物質(zhì)。丁德玲等對脈沖電暈法去除二甲苯廢氣進(jìn)行了實驗 ，發(fā)現(xiàn)二甲苯去除率隨脈沖峰值電壓、脈沖頻率的增大而升高，隨氣體流量、氣體 質(zhì)量濃度的增大而降低。實驗結(jié)果表明，脈沖電暈法適用于低濃度、大流量二甲苯廢氣的處理，去除率可達(dá)87.4%。然而該方法在實際應(yīng)用中存在能耗較大，大功率脈沖電源制造技術(shù)復(fù)雜、成本較高，火花開關(guān)壽命較短等問題，限制了該技術(shù)的進(jìn)一步推廣。
3.低溫等離子技術(shù)
低溫等離子技術(shù)通過高壓脈沖放電獲得大量 電子和自由基等活性粒子，經(jīng)低溫處理后變?yōu)楣虘B(tài)、液態(tài)或氣態(tài)。這些粒子通過破壞物的部分化學(xué)鍵，如C-H和C-C鍵等，從而對污染物進(jìn)行降解，將其轉(zhuǎn)化為或低害物質(zhì)，適用于大風(fēng)量、低濃度廢氣的處理。 表明，單獨使用低溫等離子技術(shù)處理廢氣時，去除率雖高但會有副產(chǎn)物產(chǎn)生，而光氧凈化器在等離子體反應(yīng)器中加入吸附劑或催化劑時，不僅可以提高污染物的去除率，同時還可減少副產(chǎn)物的生成。低溫等離子技術(shù)具有工藝簡單、能耗較低、處理等優(yōu)點，尤其適用于處理惡臭氣體，但該法運行費用相對較高。
4.光催化氧化法
光催化氧化法利用WO3、CdS、ZnO、TiO2等催化材料的光催化活性，在特定波長的光(一般是紫外線)照下，激發(fā)其產(chǎn)生氧化性的自由基活性物質(zhì)， 終將吸附在其表面的物氧化為二氧化碳、水等物質(zhì)。該法反應(yīng)、處理效果好、能耗低且無二次污染，可轉(zhuǎn)化苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、乙酸乙酯、甲醇、乙醛等物質(zhì)。
5.臭氧催化氧化法
臭氧催化氧化法以金屬、金屬氧化物和金屬鹽作為催化劑，催化臭氧產(chǎn)生 多的具有強氧化性的物質(zhì)以提高其氧化能力，使臭氧在室溫下即可催化廢氣氧化為二氧化碳和水。采用臭氧催化氧化法能明顯降低反應(yīng)活化能及反應(yīng)溫度，然而該方法在應(yīng)用時容易出現(xiàn)催化劑失活，反應(yīng)溫度過低時還易生成副產(chǎn)物。臭氧催化氧化法多用于廢水中污染物的去除，而目前對于該項技術(shù)在廢氣處理方面的 也取得了 進(jìn)展，是比較好的廢氣處理技術(shù)。
6.微波催化氧化技術(shù)
微波催化氧化技術(shù)由傳統(tǒng)的填料吸附一解吸技術(shù)發(fā)展而來。利用吸附劑吸附污染物后，采用微波將污染物從吸附劑上解吸出來，隨后在催化劑的作用下將污染物氧化降解。其中，非氯代物將被氧化為水和二氧化碳，可直接排入大氣，而氯代物經(jīng)催化氧化還會生成HCl，需用堿性吸收劑進(jìn)行吸收。微波催化氧化技術(shù)將傳統(tǒng)解吸方式轉(zhuǎn)變?yōu)槲⒉ń馕觯诮档湍芎牡耐瑫r縮短了解吸時間，且微波 效果好，吸附劑解吸20次后仍能基本保持原有的吸附能力。微波催化氧化技術(shù)具有較高的催化效率、啟動時間較短且對溫度要求不高，應(yīng)用該技術(shù)時應(yīng)針對不同的廢氣選擇合適的吸附劑，同時注重微波功率、加熱時間、載氣流量等因素對催化效率的影響。
7.生物處理法
生物處理法利用微生物的作用，將廢氣中的某些成分作為碳源和氮源進(jìn)行氧化分解， 終將污染物轉(zhuǎn)化為無機(jī)物、水、二氧化碳等物質(zhì)，適用于大氣量、低濃度廢氣的處理。目前生物處理設(shè)備主要包括生物濾池、生物滴濾塔、生物洗滌器等該法具有凈化效果好，運行費用少，無二次污染， 性、環(huán)保性好等優(yōu)點，但微生物的代謝速率較慢，因此，凈化速度不高。應(yīng)用該法時的篩選是關(guān)鍵，因此，應(yīng)加大對種類的分析和 ，同時在運行過程中應(yīng)注意控制體系的溫度和pH值，微生物的活性。
UV光氧凈化器在實際應(yīng)用中，為降低處理成本、提高處理效率，常將上述處理方法中的兩種或幾種進(jìn)行聯(lián)合使用。劉松華等采用光催化氧化和活性炭吸附聯(lián)用的方式對含有酮、醛、酯、烴等物的惡臭廢氣進(jìn)行處理，不僅彌補了單獨使用光催化氧化時廢氣去除率不高的問題，同時也增加了活性炭的 換時間，降低了處理成本。韓姚其等 了低溫等離子體結(jié)合光催化氧化技術(shù)在降解廢氣二甲苯方面的應(yīng)用，實驗結(jié)果表明，在光催化劑的作用下，等離子體對于二甲苯的去除率顯著提升，通過二者的協(xié)同作用，可 加地分解空氣中的物質(zhì)。
